Puolijohde-, mikroelektroniikka- ja lääketeollisuudessa prosessikemikaalien puhtausvaatimukset ovat erittäin tiukat, ja jopa metalli-ionien jäämät johtavat tuotteiden romutukseen tai laadun heikkenemiseen. Tavalliset teollisuus-luokan PFA-lämmittimet eivät voi täyttää niin korkeita puhtausvaatimuksia, joten korkean -puhtausluokan elektroniset-PFA-lämmittimet ovat nousseet erikoisluokkaksi. Näissä lämmittimissä käytetään erittäin-korkean puhdasta PFA-hartsia, ja ne valmistetaan tiukoissa puhtaissa tuotantoolosuhteissa, mikä varmistaa nolla-ionisaostumisen käytön aikana ja niistä tulee vakiolämmityslaitteita huippuluokan puhtaisiin prosesseihin.
Ydinero erittäin -puhtaiden PFA-lämmittimien ja tavallisten teollisuus-laatujen tuotteiden välillä piilee raaka-aineiden puhtaudessa. Elektronisen -luokan PFA-hartsissa käytetään erityisiä polymerointi- ja puhdistusprosesseja, joissa metalliepäpuhtaudet, fluoridi-ionit ja orgaaniset jäämät ovat erittäin pieniä. Korkean -puhtauden PFA:n metalli-ionisaostuminen pitkäaikaisen upotuksen jälkeen on yleensä ppt-tasolla (parts per trillion), kun taas tavallinen teollinen PFA voi olla ppm-tasolla, mikä on miljoonia kertoja. Tämä erittäin-vähän sademäärän ominaisuus varmistaa, että lämmitysprosessi ei saastuta erittäin-puhtaita kemiallisia liuoksia, mikä täyttää kiekkojen käsittelyn tiukat puhtausvaatimukset.
Puolijohteiden valmistuksessa erittäin{0}}puhtaita PFA-lämmittimiä käytetään laajalti erilaisissa märkäprosessilinkkeissä. Kiekkojen puhdistuskoneiden on lämmitettävä erilaisia kemiallisia puhdistusliuoksia, kuten SC1, SC2, rikkihappovetyperoksidi jne. Korkean -puhtauden PFA-lämmittimet voivat upottaa upotettua ja lämmittää suoraan ilman metallisaasteita. Fotoresistin irrotus- ja syövytysliuoksen lämmitysprosesseissa korkean -puhtauden PFA on myös erinomainen korroosionkestävyys ja puhtaus. Lisäksi erittäin -puhtaat PFA-lämmittimet ovat myös vakiokokoonpanoja lääketuotannossa, laboratorioanalyyseissa ja muissa tilanteissa, joissa vaaditaan erittäin-puhdasta liuoslämmitystä.
Erittäin puhtaiden{0}}PFA-lämmittimien valmistusprosessia valvotaan paljon tiukemmin kuin tavallisia teollisuustuotteita. Koko tuotantoprosessi on saatettava päätökseen luokan 100 tai korkeammassa puhtaassa työpajassa, jotta vältetään hiukkassaasteet ympäristössä. Kaikissa työkaluissa ja kalusteissa on käytettävä erittäin-puhtaita fluoroplastisia materiaaleja, eivätkä ne saa joutua kosketuksiin metallin kanssa, joka voi aiheuttaa saastumista. Tuotannon jälkeen tuotteiden on läpäistävä moni-kanavainen ultra-vesipuhdistus ja puhtaat pakkaukset, jotta asiakkaille toimitetut tuotteet ovat puhtaita ja niitä voidaan käyttää suoraan.
Korkean -puhtauden PFA-lämmittimien laadunvarmistus edellyttää myös erityisiä testausstandardeja. Perinteisen neulanreikien havaitsemisen ja paksuuden havaitsemisen lisäksi on tarpeen suorittaa myös ionisaostumistesti, TOC (total organic carbon) -testi ja hiukkaslukutesti puhtaustason tarkistamiseksi. Vain tuotteita, jotka ovat läpäisseet nämä tiukat testit, voidaan käyttää-huippuluokan puhtaissa prosesseissa. Tietysti korkean -puhtauden PFA-lämmittimien hinta on myös huomattavasti korkeampi kuin teollisuus-luokan tuotteiden hinta, yleensä 2–3 kertaa tavallisten PFA-lämmittimien hinta.
Taulukko 1 Teollisuuden-luokan ja elektronisen-luokan PFA-lämmittimien vertailu
表格
| Suorituskykyindikaattori | Teollisuus-PFA | Elektroninen-luokan korkea-puhtaus PFA |
|---|---|---|
| Hartsin puhtaus | Normaali teollisuuslaatu | Ultra{0}}puhdistettu puolijohdelaatu |
| Metalli-ionisaostus | ppm tasolla | ppt taso |
| Tuotantoympäristö | Tavallinen työpaja | Luokan 100+ puhdastila |
| Hiukkasten hallinta | Ei erityisiä vaatimuksia | Tiukka hiukkasmäärän hallinta |
| Tyypillinen sovellus | Galvanointi, kemiallinen pintakäsittely | Puolijohdekiekkojen puhdistus, lääke |
| Suhteellinen hinta | 1× perusviiva | 2–3× |
Äärimmäisen-alhaisen ionisaostumisen ja korkean puhtauden ansiosta erittäin-puhtaista PFA-lämmittimistä on tullut välttämätön avainlaite puolijohde- ja huippuluokan{2}}valmistusteollisuudessa.
